真空热压键合机用于PMMA、PC、COC等硬质塑料有机芯片封合；用于玻璃、硅片、晶元、蓝宝石、石英等基材的中低高温键合。实验室真空热压机最大温度300℃，封合产品最大尺寸230*200mm,最大厚度140mm。用于PMMA 、PC 、COC等硬质塑料芯片的封合，硬质塑料微流控芯片加工专用设备。

　　开启真空热压机电源开关之前确保工作界面上的控制开关处于关闭状态。连接好气路,测试气缸的运行状况，把控制气缸的开关按下然后再按一下，气缸能够上下运动，说明设备气路正常。如果压力表不工作，加热模块不工作，请检查压力表和加热模块或热传感器的连接是否正确，或立即与公司或维修站的技术人员联系。

　　真空热压键合机设备操作方式应严格按照以下步骤进行

　　(1) 检查真空热压键合机，真空泵和空气压缩机的电源线连接是否正确，检查各部分的气路管线连接是否正确，关闭系统每个部分的阀门和开关。

　　(2) 将需要键合的芯片放在工作平台(或相应治具)中间位置，调整气缸运行的行程，关闭舱门，打开真空泵，抽掉热压机内部的空气。

　　(3) 把气缸控制开关按下，确定芯片上受压的压力。

　　(4) 温度设定：调节上、下板调温旋钮到所需的温度。

　　(5) 将上、下板温度控制的开关按下，开始对芯片进行加热键合。

　　(6) 热压键合结束，关闭上、下板温控开关，使加热板处于停止工作状态。

　　(7) 待温度自然冷却至工艺参数后，放入空气，使内外压强平衡

　　(8) 打开舱门，气动风冷模式，加快冷却速度

　　(9) 待温度降至50度以下后，按起气缸按钮，气缸抬起，完成键合

　　真空热压炉操作规程及注意事项

　　一、准备打开冷水机开关，否则设备会由于水压过低报警。

　　二、打开电源开关通电前，需要检查各开关状态：

　　1、升温方式应置于“手动”档，功率调节逆时针旋转到底;

　　2、加压“升-停-降”拨动开关是否处于停的位置，加压电位器是否旋到最小;以上检查无误后，先打开主电源开关，再打开次电源开关。

　　三、开炉进样品

　　炉子不用时一般处于真空状态，使用前应先观察炉子的真空状态若处于真空，先通过进气阀缓缓对炉体进行充气到常压，然后用千顶将炉盖打开，取出两个盖子，将待烧样品放入炉体。

　　若进行不加压烧结，一定不要忘记内外两保温盖都必须盖上，否则温度可能升不上去;若要进行加热烧结必须将最外层保温盖中间的小盖以及内层保温盖拿掉方可进行实验。

　　注意：放样品时一定要小心不能碰触发热体以免发热体和炉壳之间发生短路。

　　四、设定加热程序

　　1、升温：一般通过程序来设定，最大升温速率10℃/min，若实验前期要快速升温可以将升温方式置于“手动”档，顺时针慢慢调节功率使电流慢慢上升来升温;一般200℃以下可以先手动方式升温，否则温控不准。1000-2000℃，可采用红外自动控制炉温。

　　注意：升温必须在真空状态下进行;注意观察电流仪表指示禁止超过次级额定电流700A。

　　2、降温：

　　可通过程序来设定，或直接把加热关闭让其自行降温。注意：降温过程中不允许停水，否则炉体密封圈会被烧坏。

　　五、设定加压程序

　　1、预压：预压应在升温之前进行，通常压力设定范围在1.0-1.5MPa之间;预压可以通过手动来实现加压。

　　2、加压：待温度升到预定温度后再对样品进行加压，通常设定程序来对样品进行自动加压。设备可以实现的最大压力值16MPa，相当于10t(16MPa=10t)。

　　A：手动加压：旋动加压电位器，同时观察位移指示，位移变化很小时，说明上下冲头已接触样品。加压结束将“升-停-降”开关拨向停的位置，加压电位器材旋到最小。

　　B：自动加压：首先在仪表上设定所需压力，当所需压力及实测压力基本一致后，将“升-降”开关拨向升，观察位移及压力变化，等升到位后自动实现保压及稳压功能。加压结束只需将“升-停-降”开关拨向降即可。降到最底后将“升-停-降”开关拨向停。最后关闭液压泵。

　　注意：不用加压或者卸压时候，压力应设为负值，停掉液压泵。油缸不用时设到停的位置，不然会误操作。

　　六、电炉抽真空步骤：

　　打开真空计开关

　　1、抽低真空：紧闭所有的真空阀门，启动机械泵，待其运行正常后(大约1-2 min)，打开通向炉体的低真空阀即上碟阀，预先对炉体抽低真空;

　　2、抽高真空：打开下碟阀，对扩散泵进行抽气，当真空度达到15 Pa以下后，开启扩散泵进行预热，一般经过45 min左右扩散泵开始其作用，就可以关闭上碟阀，同时开启主阻挡阀待真空度达到1.33×10-1Pa以上，才可以开启加热按钮对样品进行加热。

　　A：真空计有两个量程表，低真空量程1.0×105-1.0×10-1;高真空量程1.0×10-1-1.0×10-5,一般在2Pa开始转换量程。注意充大气进去前，应关闭真空计开关，防止真空计老化。注意：上碟阀和主阻挡阀不能同时开启。

　　七、通保护气氛可以通入高纯氩气或氮气进行烧结保护。

　　充气压力范围常压到7000Pa。

　　八、实验结束后

　　1、不用时，应将炉体保持在真空状态(打开机械泵-上碟阀对炉体进行抽真空1个小时左右，炉体后面的压力表显示为小于-0.1即可)，否则下次使用会导致抽真空效率降低;

　　2、将冷水机开关关掉;

　　3、卸下真空炉的观察玻璃(特别是红外仪用的观察窗)进行清洁;

　　4、清洁电炉表面保持其整洁;

　　5、在实验本上做好相关记录。

　　6、离开前，请检查水电灯空调窗是否已关闭，确认无误后将门锁上再离开。